UNE-Lab.

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片面研磨装置
不二越機械工業　RDP-500
概略寸法　1000mm×1000mm×1900mm
私大助成補助金によって導入

3次元ロボット研磨装置
山本金属製作所　特注
概略寸法　2800mm×1700mm×2200mm

卓上片面研磨装置
エンギス　EJ-380
（上方に高速度カメラを設置）
概略寸法　700mm×700mm×1200mm
スラリーメーカ（F）からの貸与

卓上片面研磨装置
ロジックINAソリューションズ　PM2
概略寸法　500mm×600mm×600mm

片面研磨装置
マルトー　ML-503
概略寸法　900mm×1000mm×1300mm

両面同時研磨装置
タイセイ　TD6B
概略寸法　900mm×800mm×1800mm

コンディショナ性能評価装置
MAT　ARW-6MDS
概略寸法　1400mm×800mm×2200mm
ダイヤモンドコンディショナメーカ（A）からの寄贈

パッド表面性状測定装置
不二越機械工業　PSP-100
概略寸法　300mm×300mm×300mm
研磨装置メーカ（F）からの貸与

表面粗さ計
東京精密　サーフコム1400D-64
概略寸法　1800mm×800mm×1600mm

表面粗さ計
東京精密　サーフコム1400D-99
概略寸法　1800mm×800mm×1600mm

蛍光X線分析装置
島津製作所　EDX-720
概略寸法　1200mm×800mm×500mm
テクノセンター（S）からの寄贈

2軸トラバース制御研磨装置
研究室自作
概略寸法　1300mm×1200mm×1800mm

1軸トラバース制御研磨装置
研究室自作
概略寸法　1000mm×600mm×1700mm

3次元形状測定装置
研究室自作
概略寸法　500mm×300mm×500mm